精密量測實驗室

高科技產業蓬勃發展之下，舉精密機械、微機電系統，乃至今日大放異采的電子產業、IC製造、IC封裝與測試等，都顯示出精密定位系統與精密量測的重要性。本實驗室以精密量測技術為主軸，發展各式光學量測與光機電整合技術，光學部分包含創新光學設計、3D掃描、共焦、干涉、散射術、OCD、x-ray scatterometry等技術，機電部分則包含機構設計、電子電路知識及軟體程式編寫。 本實驗室之研究重點在於創新性AOI光機電關鍵技術與系統模組之突破，範圍包括：精密量測系統之光機創新設計與系統整合、智能化關鍵演算法開發、符合阿貝原理之奈米級精密量測關鍵技術與平台的開發、創新式智能化AOI量測系統之開發、以及半導體先進製程之線上檢測技術與設備開發等，用以協助科技產業開發前瞻性檢量測關鍵技術。