奈米機電系統研究中心

國立臺灣大學奈米機電系統研究中心成立於1999年，其主要任務為:「培育奈米機電系統人才與基礎技術以促進我國產業之發展」。研究中心同時執行人才培育、技術研發與整合、及促進產業發展等工作。中心之經營理念重心在於為奈米機電領域培養開創性人才與技術。中心現在管理無塵室兩間，位於主校區應用力學所及水源校區卓越研究大樓，提供校內外單位使用者奈米製程設備訓檢服務，及委託製程技術服務。